[发明专利]MEMS致动系统和方法有效
| 申请号： | 201780068620.0 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN110291434B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | M·伍;刘晓蕾;王桂芹 | 申请（专利权）人： | 麦斯卓有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/64 | 分类号： | G02B27/64;B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00;H02N2/02;H01L41/09;H04N5/225 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 王冬;赵锐 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 微机电系统(MEMS)器件包括一个或多个可滑动连接组件，用于可释放地将微机电系统(MEMS)器件连接到制造微机电系统(MEMS)器件的晶片。 | ||
| 搜索关键词： | mems 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(MEMS)器件，包括：一个或多个可滑动连接组件，用于可释放地将微机电系统(MEMS)器件连接到制造微机电系统(MEMS)器件的晶片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于麦斯卓有限公司，未经麦斯卓有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780068620.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于光子神经元件的波导结构
- 下一篇：光学稳像悬架中的轴承限制器结构
