[发明专利]图案化叠层优化有效
| 申请号： | 201780052912.5 | 申请日： | 2017-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN109661616B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | W·T·特尔;J·M·芬德尔斯;O·J·P·毛拉尔;A·B·范奥斯汀 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种调整图案化叠层的方法，所述方法包括：定义函数，该函数对代表与转印到衬底上的图案化叠层中的图案有关的物理特性的参数如何受到图案化叠层变量的变化的影响进行度量，所述图案化叠层变量代表所述图案化叠层的材料层的物理特性；通过硬件计算机系统来改变所述图案化叠层变量，并且通过所述硬件计算机系统来评估与改变的图案化叠层变量相关的所述函数，直到满足结束条件为止；以及当满足结束条件时，输出所述图案化叠层变量的值。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 化叠层 优化 | ||
【主权项】：
1.一种调整图案化叠层的方法，所述方法包括：定义如下函数：所述函数对代表与转印到衬底上的图案化叠层中的图案有关的物理特性的参数如何受到图案化叠层变量的变化的影响进行度量，所述图案化叠层变量代表所述图案化叠层的材料层的物理特性；通过硬件计算机系统来改变所述图案化叠层变量，并且通过所述硬件计算机系统来评估与改变的图案化叠层变量相关的所述函数，直到满足结束条件为止；和当满足结束条件时，输出所述图案化叠层变量的值。
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