[发明专利]感光性硅氧烷组合物有效

专利信息
申请号: 201780019167.4 申请日: 2017-03-23
公开(公告)号: CN108884321B 公开(公告)日: 2021-09-14
发明(设计)人: 高桥惠;横山大志;吉田尚史;谷口克人;九泽昌祥 申请(专利权)人: AZ电子材料(卢森堡)有限公司
主分类号: C08L83/04 分类号: C08L83/04;C09D183/04
代理公司: 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 代理人: 刘卓然
地址: 卢森堡国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: [目的]提供一种组合物,其可形成耐化学品性、耐热性以及分辨性优异的低介电性的固化膜。还提供一种使用所述组合物的制造方法。[手段]本发明提供一种组合物,其包含:碱可溶性树脂、聚硅氧烷、重氮基萘醌衍生物、暴露于热或者光时产生酸或者碱的化合物、以及溶剂,所述碱可溶性树脂是包含有包含羧基的聚合单元与包含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的聚合物。
搜索关键词: 感光性 硅氧烷 组合
【主权项】:
1.一种组合物,其包含:碱可溶性树脂,所述碱可溶性树脂是包含有包含羧基的聚合单元与包含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的聚合物,聚硅氧烷,重氮基萘醌衍生物,暴露于热或者光时产生酸或者碱的化合物,以及溶剂。
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