[发明专利]清洁装置和柔性显示器的制造设备有效

专利信息
申请号: 201780002905.4 申请日: 2017-05-03
公开(公告)号: CN108136446B 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 周启豪;叶昱均 申请(专利权)人: 深圳市柔宇科技有限公司
主分类号: B08B1/04 分类号: B08B1/04;B08B1/02;B08B3/08;H01L51/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518052 广东省深圳市南山*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种清洁装置(10),用于清洁器件基板(800),所述清洁装置(10)包括容置槽(11)、设置在容置槽(11)中的湿式滚刷(12)、干式滚刷(13)和驱动装置(14),容置槽(11)用于存储清洁剂,湿式滚刷(12)用于利用容置槽(11)中的清洁剂清洁基板(820)的下表面,干式滚刷(13)用于清洁器件薄膜(840),驱动装置(14)连接湿式滚刷(12)和干式滚刷(13),并用于驱动湿式滚刷(12)脱离容置槽(11)并转动以清洁基板(820)的下表面,及用于驱动干式滚刷(13)转动以清洁器件薄膜(840)。
搜索关键词: 清洁 装置 柔性 显示器 制造 设备
【主权项】:
一种清洁装置,用于清洁器件基板,所述器件基板包括基板和设置在所述基板上表面的器件薄膜,其特征在于,所述清洁装置包括:容置槽,所述容置槽用于存储清洁剂;和设置在所述容置槽中的湿式滚刷,所述湿式滚刷用于利用所述容置槽中的清洁剂清洁所述基板的下表面;干式滚刷,所述干式滚刷用于清洁所述器件薄膜;驱动装置,所述驱动装置连接所述湿式滚刷和所述干式滚刷,并用于驱动所述湿式滚刷脱离所述容置槽并转动以清洁所述基板的下表面,及用于驱动所述干式滚刷转动以清洁所述器件薄膜。
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