[实用新型]一种提拉式镀膜装置有效
申请号: | 201721860963.4 | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN207723006U | 公开(公告)日: | 2018-08-14 |
发明(设计)人: | 李素云;裴立志;时庆文;周伟杰 | 申请(专利权)人: | 信利光电股份有限公司 |
主分类号: | B05C3/10 | 分类号: | B05C3/10;B05C13/02 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 邓义华;廖苑滨 |
地址: | 516600 广东省汕*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种提拉式镀膜装置,包括支架、工作平台、镀膜池、提拉机构和旋转夹料机构,所述支架和镀膜池设于所述工作平台上,所述提拉机构和旋转夹料机构设于所述支架上,所述提拉机构和旋转夹料机构设置在所述镀膜池的上方,所述提拉机构用于带动所述旋转夹料机构上下移动,所述旋转夹料机构用于夹持基片并带动所述基片旋转。本实用新型在垂直方向运动的基础上,增加切向的运动,可以实现旋转提拉镀膜,保证整个提拉过程基片的薄膜层均匀,可以改善3D盖板不同曲率半径处膜层的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 旋转夹 提拉机构 镀膜池 支架 本实用新型 镀膜装置 工作平台 提拉式 垂直方向运动 机构设置 上下移动 提拉镀膜 盖板 薄膜层 均匀性 夹持 膜层 切向 提拉 保证 | ||
【主权项】:
1.一种提拉式镀膜装置,其特征在于,其包括支架、工作平台、镀膜池、提拉机构和旋转夹料机构,所述支架和镀膜池设于所述工作平台上,所述提拉机构和旋转夹料机构设于所述支架上,所述提拉机构和旋转夹料机构设置在所述镀膜池的上方,所述提拉机构用于带动所述旋转夹料机构上下移动,所述旋转夹料机构用于夹持基片并带动所述基片旋转。
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