[实用新型]钢杯应变薄膜电阻

摘要

本实用新型公开了一种钢杯应变薄膜电阻，包括位于中心位置镜像分布的上部内电阻栅、下部内电阻栅，位于纵轴方向边缘位置镜像分布的上部外电阻栅、下部外电阻栅，四个栅条焊盘组成。内电阻栅通过内调阻栅与栅条焊盘连接，外电阻栅通过外调阻栅与栅条焊盘连接，内电阻栅与外电阻栅组成惠斯通电桥，当输入工作电源时，通过激光调整内调阻栅和/或外调阻栅的阻值，使所述惠斯通电桥零点输出接近零。这样传感器调阻方便容易，溅射薄膜传感器优良性能得到保障。

主权项

1.一种钢杯应变薄膜电阻，其特征在于：包括位于中心位置镜像分布的上部内电阻栅(2‑A)、下部内电阻栅(2‑B)，位于纵轴方向边缘位置镜像分布的上部外电阻栅(3‑A)、下部外电阻栅(3‑B)，栅条焊盘A(4‑1)、栅条焊盘B(4‑2)、栅条焊盘C(4‑3)、栅条焊盘D(4‑4)组成，所述上部内电阻栅(2‑A)、下部内电阻栅(2‑B)，栅条焊盘A(4‑1)、栅条焊盘B(4‑2)、栅条焊盘C(4‑3)、栅条焊盘D(4‑4)采用离子束薄膜溅射技术和精密光刻技术制造而成，位于钢杯(6)的平膜片(1)的表面。