[实用新型]一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒有效
申请号: | 201721802617.0 | 申请日: | 2017-12-21 |
公开(公告)号: | CN207987350U | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | 杨东;梁永生;冉瑞应;李博一;金雪 | 申请(专利权)人: | 银川隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 钟欢 |
地址: | 750021 宁夏回族自治区银*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型公开的一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒,包括设置于单晶炉内排气孔位置的导气筒体,导气筒体上设置有用于向单晶炉内反射热量的反射片。本实用新型一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒安装于单晶炉的排气孔处,利用导气筒体上的钼片将热量反射回单晶炉炉膛内再次利用,有效避免了热量散失,从而降低了直拉法生产单晶硅的有效运行功率。 | ||
搜索关键词: | 导气筒 单晶硅 单晶炉 直拉法 拉晶 本实用新型 炉膛 生产 内排气孔 排气孔处 热量反射 热量散失 有效运行 再次利用 反射片 内反射 钼片 | ||
【主权项】:
1.一种降低直拉法生产单晶硅拉晶功率的导气筒,其特征在于,包括设置于单晶炉(4)内排气孔位置的导气筒体(1),所述导气筒体(1)上设置有用于向单晶炉(4)内反射热量的反射片(2)。
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