[实用新型]工件载台有效
申请号: | 201721693797.3 | 申请日: | 2017-12-07 |
公开(公告)号: | CN207531149U | 公开(公告)日: | 2018-06-22 |
发明(设计)人: | 金忠盛 | 申请(专利权)人: | 张家港康得新光电材料有限公司 |
主分类号: | H05F3/06 | 分类号: | H05F3/06;B25H1/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 韩建伟;谢湘宁 |
地址: | 215634 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种工件载台,该工件载台包括:载台本体;升降装置,可升降地设置在载台本体上,升降装置用于升降待除静电工件;第一除静电装置,固定设置在升降装置上,且位于待除静电工件的下方,第一除静电装置用于去除待除静电工件上的静电。通过本实用新型提供的技术方案,能够解决现有技术中无法对待除静电工件的下表面进行除静电操作的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 除静电 升降装置 除静电装置 工件载台 载台本体 本实用新型 固定设置 可升降地 静电 下表面 去除 升降 | ||
【主权项】:
1.一种工件载台,其特征在于,所述工件载台包括:载台本体(10);升降装置,可升降地设置在所述载台本体(10)上,所述升降装置用于升降待除静电工件;第一除静电装置,固定设置在所述升降装置上,且位于所述待除静电工件的下方,所述第一除静电装置用于去除所述待除静电工件上的静电。
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