[实用新型]溶液自动添加系统

摘要

本实用新型涉及一种溶液自动添加系统，以达到自动化加液且药液和消泡剂添加量稳定的目的，其包括药液添加装置、消泡剂添加装置及控制装置，药液添加装置包括药液源、设有出液管道的容器、进液管道及虹吸管道，出液管道上设有第一控制阀，进液管道上设有液泵，消泡剂添加装置包括消泡剂源及输出管路，输出管路上设有第二控制阀及流量控制阀，控制装置包括液位检测装置及控制器，控制器控制第二控制阀的开闭以及根据液位检测装置控制液泵向容器内加液，当容器内的药液达到第一预设液位后，虹吸管路可将容器内的药液虹吸至容器外，当液位检测装置检测到容器内的药液定容至所述第二预设液位时，控制器控制第一控制阀释放药液。

主权项

一种溶液自动添加系统，用于向显影退膜缸体中添加药液和消泡剂，其特征在于，所述溶液自动添加系统包括：药液添加装置，包括用于提供药液的药液源、底部设有出液管道的容器、用于将所述药液源内的药液输送至所述容器内的进液管道以及虹吸管道，所述出液管道上设有第一控制阀，所述进液管道上设有液泵，所述虹吸管道的一端设于所述容器内，另一端设于所述容器外；消泡剂添加装置，包括用于提供消泡剂的消泡剂源以及与所述消泡剂源连通的输出管路，所述输出管路上沿消泡剂的输出方向依次设有第二控制阀及流量控制阀；控制装置，包括用于检测所述容器内的液位的液位检测装置及分别与所述第一控制阀、所述液泵、所述液位检测装置及所述第二控制阀连接的控制器，其中，所述控制器用于控制所述第二控制阀的开闭以及根据所述液位检测装置的检测值控制所述液泵向所述容器内加液至所述容器内的药液达到第一预设液位；当所述容器内的药液达到所述第一预设液位后，所述虹吸管路可将所述容器内的药液虹吸至所述容器外，以使得所述容器内的药液可定容至第二预设液位，其中，所述第一预设液位大于所述第二预设液位；当所述液位检测装置检测到所述容器内的药液定容至所述第二预设液位时，所述控制器还用于控制所述第一控制阀释放药液。