[实用新型]多晶硅生产系统有效
| 申请号： | 201721384008.8 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN207347177U | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 张金宝;方红承;方仕林;鲁瑞尧;隋宝勋;张龙善;张龙 | 申请（专利权）人： | 新疆合晶能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 832000 新疆维吾尔自*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅生产系统，包括三氯氢硅添加装置、氢气添加装置、静态混合器和还原炉，三氯氢硅添加装置的出口与静态混合器的入口连通，氢气添加装置的出口与静态混合器的入口连通，静态混合器的出口与还原炉的入口连通，还包括二氯二氢硅添加装置，二氯二氢硅添加装置的出口与静态混合器的入口连通，二氯二氢硅添加装置，包括二氯二氢硅储罐、二氯二氢硅输送泵和尾气换热器，二氯二氢硅储罐内的二氯二氢硅依次经二氯二氢硅输送泵和尾气换热器后进入静态混合器，所述还原炉产生的尾气流入尾气换热器，尾气换热器与静态混合器连接的管道上设置二氯二氢硅调节阀。以实现根据还原炉运行的时间提供合适比例二氯二氢硅的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 系统 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅生产系统，包括三氯氢硅添加装置、氢气添加装置、静态混合器和还原炉，所述三氯氢硅添加装置的出口与静态混合器的入口连通，所述氢气添加装置的出口与静态混合器的入口连通，所述静态混合器的出口与还原炉的入口连通，其特征在于，还包括二氯二氢硅添加装置，所述二氯二氢硅添加装置的出口与静态混合器的入口连通，所述二氯二氢硅添加装置，包括二氯二氢硅储罐、二氯二氢硅输送泵和尾气换热器，所述二氯二氢硅储罐内的二氯二氢硅依次经二氯二氢硅输送泵和尾气换热器后进入静态混合器，所述还原炉产生的尾气流入尾气换热器，所述尾气换热器与静态混合器连接的管道上设置二氯二氢硅调节阀。
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