[实用新型]光阻涂布机有效
| 申请号： | 201721317031.5 | 申请日： | 2017-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN207271550U | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 聂行健;陈聪文;汪杰;赵敏 | 申请（专利权）人： | 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;B05C13/02 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司11283 | 代理人： | 李健,邝圆晖 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山市开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光阻涂布机，所述光阻涂布机包括用于固定放置基板(500)的涂布平台(100)，所述涂布平台(100)上设置有缝隙(101)；所述光阻涂布机还包括与所述缝隙(101)连通的回收装置；其中，所述基板(500)的边缘与所述缝隙(101)对齐或位于所述缝隙(101)内。本实用新型的光阻涂布机，不仅可以实现光阻的回收利用，还可以降低基板边缘的涂布膜厚，进而解决基板边缘处显影不良的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻涂布机 | ||
【主权项】：
一种光阻涂布机，其特征在于，所述光阻涂布机包括：用于固定放置基板(500)的涂布平台(100)、设置于所述涂布平台(100)上的缝隙(101)以及与所述缝隙(101)连通的回收装置；其中，所述基板(500)的边缘与所述缝隙(101)对齐或位于所述缝隙(101)内。
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