[实用新型]一种真空设备用可伸缩气体源装置

摘要

本实用新型提出一种真空设备用可伸缩气体源装置，包括固定座，与真空设备的高真空腔室通过真空密封法兰固接；毛细气管，与固定座通过伸缩机构相连；伸缩机构，由至少两节伸缩管、弹簧、拉伸丝、绕线辊、旋转装置组成；微型电动阀，固定在圆环上；外部气体连接管，与伸缩管相对于固定座异侧布置，且与伸缩管连通；电极导入装置，与伸缩管相对于固定座异侧布置。本实用新型装置用以在高真空环境中进行反应，生长过程的原位观测，同时本实用新型提出一种利用脉冲局域的气体供应，可以在脉冲停止的时间窗口获得较好的真空度，从而可以利用该窗口来获得样品信息。

主权项

一种真空设备用可伸缩气体源装置，其特征在于，包括：固定座(10)，与所述真空设备的高真空腔室(14)通过真空密封法兰(13)固接；毛细气管(1)，与固定座通过伸缩机构相连，用于向所述的高真空腔室喷射外部气体源；伸缩机构，由至少两节伸缩管(4)、弹簧(5)、拉伸丝(7)、绕线辊(8)、旋转装置(9)组成，多节所述伸缩管的一端通过圆环(2)与毛细气管密封连接，另一端通过卡套(6)与固定座密封连接，所述弹簧设于伸缩管内，所述拉伸丝设于伸缩管外，一端与圆环相连，另一端自多节伸缩管的远端向近端依次穿过多个卡套后接入绕线辊上，所述绕线辊可转动的设于固定座上，由所述的旋转装置控制其转动；微型电动阀(3)，固定在圆环上，用于毛细气管连通与之相接的伸缩管；外部气体连接管(11)，与伸缩管相对于固定座异侧布置，且与伸缩管连通，用于接驳所述的外部气体源；电极导入装置(12)，与伸缩管相对于固定座异侧布置，用于接驳外部电源。