[实用新型]晶舟包装工具和晶舟包装台有效
申请号: | 201721188210.3 | 申请日: | 2017-09-18 |
公开(公告)号: | CN207403977U | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 章小博 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | B65B5/04 | 分类号: | B65B5/04;B65B67/02 |
代理公司: | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人: | 侯莉;毛立群 |
地址: | 300385*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种晶舟包装工具和晶舟包装台,包括:支撑晶舟的台架和包装框架。包装框架具有相对设置的进口和出口,包装框架用于支撑包装物,以使晶舟通过从进口向出口的移动被容纳在包装物中。通过对包装框架进行翻转套包装物,进而避免对晶舟进行翻转,从而防止晶舟内部芯片出现夹片和/或叠片现象的出现,保护了芯片。 | ||
搜索关键词: | 晶舟 包装框架 包装物 包装工具 翻转 进口和出口 内部芯片 相对设置 包装台 叠片 夹片 台架 支撑 种晶 容纳 芯片 移动 进口 出口 | ||
【主权项】:
1.一种晶舟包装工具,其特征在于,包括:用于支撑包装物的包装框架,所述包装框架具有相对设置的进口和出口,晶舟通过从支撑有所述包装物的所述包装框架的所述进口向所述出口的移动被容纳在所述包装物中。
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