[实用新型]带有修整轮的晶片研磨机有效
| 申请号： | 201721186245.3 | 申请日： | 2017-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN207206150U | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 董振峰;王修新;翟艳飞 | 申请（专利权）人： | 济源石晶光电频率技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30 |
| 代理公司： | 郑州德勤知识产权代理有限公司41128 | 代理人： | 宋文龙 |
| 地址： | 454650 河南省焦作市济*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种带有修整轮的晶片研磨机，包括工作台、内齿圈、太阳轮、下研磨盘、上研磨盘、游星轮、修整轮、设置在工作台内的驱动机构和设置在工作台上的升降架，内齿圈和太阳轮同轴设置在工作台上，下研磨盘设置在内齿圈与太阳轮之间的下方，游星轮或修整轮啮合在内齿圈与太阳轮之间，上研磨盘可升降设置在升降架上，驱动机构驱动内齿圈和太阳轮旋转；其中，游星轮上设置有晶片装设孔，修整轮上开设有多个修整通孔，修整通孔的圆心均布在同一圆周上，修盘时修整轮的公转方向与研磨晶片时游星轮的公转方向相反。该带有修整轮的晶片研磨机具有设计科学、实用性强、结构简单、使用方便、修盘高效的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 修整 晶片 研磨机 | ||
【主权项】：
一种带有修整轮的晶片研磨机，其特征在于：包括工作台、内齿圈、太阳轮、下研磨盘、上研磨盘、游星轮、修整轮、设置在所述工作台内的驱动机构和设置在所述工作台上的升降架，所述内齿圈和所述太阳轮同轴设置在所述工作台上，所述下研磨盘设置在所述内齿圈与所述太阳轮之间的下方，所述游星轮或所述修整轮啮合在所述内齿圈与所述太阳轮之间，所述上研磨盘可升降设置在所述升降架上，所述驱动机构驱动所述内齿圈、所述下研磨盘和所述太阳轮旋转；其中，所述游星轮上设置有晶片装设孔，所述修整轮的每一端面上沿径向开设有多个修整凹槽，所述修整轮上对应所述晶片装设孔还开设有多个修整通孔，所述修整通孔的圆心均布在同一圆周上，修盘时所述修整轮的公转方向与研磨晶片时所述游星轮的公转方向相反。
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