[实用新型]一种低清理频率的高效离子束抛光设备

摘要

本实用新型公开了一种低清理频率的高效离子束抛光设备，包括放电腔、位于放电腔内的阳极板、以及设置在放电腔出口端的若干层格栅板，最外层格栅板上设置安装块，所述安装块上设置钨丝，所述钨丝的一端伸出至安装块外侧，相邻两块格栅板之间设置陶瓷连接块，所述陶瓷连接块的相对两侧分别与两块格栅板固定连接；所述安装块的侧面设置一端敞口的凹槽，所述凹槽的敞口方向朝向钨丝伸出至安装块外侧的方向，且所述凹槽的孔径从敞口端至内部线性增大。本实用新型的目的在于提供一种低清理频率的高效离子束抛光设备，以解决现有技术中离子束抛光机无法保持长时间正常工作的问题，实现提高离子束抛光机的正常工作时长、降低清理频率的目的。

主权项

一种低清理频率的高效离子束抛光设备，包括放电腔(1)、位于放电腔(1)内的阳极板(2)、以及设置在放电腔(1)出口端的若干层格栅板(3)，最外层格栅板(3)上设置安装块(4)，所述安装块(4)上设置钨丝(5)，所述钨丝(5)的一端伸出至安装块(4)外侧，其特征在于，相邻两块格栅板(3)之间设置陶瓷连接块(7)，所述陶瓷连接块(7)的相对两侧分别与两块格栅板(3)固定连接；所述安装块(4)的侧面设置一端敞口的凹槽(6)，所述凹槽(6)的敞口方向朝向钨丝(5)伸出至安装块(4)外侧的方向，且所述凹槽(6)的孔径从敞口端至内部线性增大。