[实用新型]氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构有效
申请号: | 201721159424.8 | 申请日: | 2017-09-12 |
公开(公告)号: | CN207483844U | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 李华;赵许飞;张猛;童洪波 | 申请(专利权)人: | 泰州隆基乐叶光伏科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/40 | 分类号: | C23C16/40;C23C16/455 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 文雯 |
地址: | 225300 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构,包括三甲基铝蒸汽喷淋器、紧固装置一、N2O喷淋器、紧固装置二和分体式U型挡板,三甲基铝蒸汽喷淋器焊接有紧固装置一,分体式U型挡板包括三甲基铝喷淋器挡板和N2O气体喷淋器挡板,N2O气体喷淋器挡板采用U型,N2O气体喷淋器挡板的两侧分别设有三甲基铝喷淋器挡板,三甲基铝蒸汽喷淋器通过紧固装置一连接三甲基铝喷淋器挡板,三甲基铝喷淋器挡板设有通孔一,通孔一连通三甲基铝蒸汽喷淋器的出气口;该机构能够避免了AlOx聚集堵塞三甲基铝蒸汽喷淋器,有效解决一体式U型挡板因为钢板折弯精度不准确带来的无法正确安装的问题,并有效保证整个喷淋器较为均匀的供气。 | ||
搜索关键词: | 喷淋器 挡板 三甲基铝蒸汽 紧固装置 三甲基铝 气体喷淋器 氧化铝镀膜 喷淋机构 分体式 通孔 本实用新型 钢板折弯 有效解决 出气口 焊接 供气 堵塞 保证 | ||
【主权项】:
一种氧化铝镀膜装置的气体喷淋机构,其特征在于:包括三甲基铝蒸汽喷淋器、紧固装置一、N2O喷淋器、紧固装置二和分体式U型挡板,三甲基铝蒸汽喷淋器焊接有紧固装置一,分体式U型挡板包括三甲基铝喷淋器挡板和N2O气体喷淋器挡板,N2O气体喷淋器挡板采用U型,N2O气体喷淋器挡板的两侧分别设有三甲基铝喷淋器挡板,三甲基铝蒸汽喷淋器通过紧固装置一连接三甲基铝喷淋器挡板,三甲基铝喷淋器挡板设有通孔一,通孔一连通三甲基铝蒸汽喷淋器的出气口,N2O喷淋器焊接有紧固装置二,N2O气体喷淋器挡板通过紧固装置二连接N2O喷淋器,N2O气体喷淋器挡板设有通孔二,通孔二连通N2O喷淋器的喷气口。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的