[实用新型]管式扩散炉

摘要

本实用新型公开了一种管式扩散炉，包括：扩散炉管和加热模块，其中，加热模块加热扩散炉管以使扩散炉管内的温度沿工艺气体充入扩散炉管的方向增高。本实用新型实施例公开的管式扩散炉中，扩散炉管内的温度沿工艺气体充入扩散炉管的方向增高，则在扩散过程中，能够实现扩散炉管内的温度沿扩散炉管的充气方向增高，使得扩散炉管内工艺气体浓度较大的位置温度较低、工艺气体浓度较小的位置温度较高，由于工艺气体的浓度越大扩散电阻越小、扩散炉管的温度越高扩散电阻越小，则提高了扩散方阻的一致性，提高了扩散均匀性。

主权项

1.一种管式扩散炉，其特征在于，包括：扩散炉管和加热模块，其中，所述加热模块加热所述扩散炉管以使所述扩散炉管内的温度沿工艺气体充入所述扩散炉管的方向增高；所述加热模块至少为两个，且所述加热模块沿所述扩散炉管的充气方向分布，相邻两个所述加热模块的加热温度沿所述扩散炉管的充气方向增高。