[实用新型]带有介质和金属线栅结构的红外偏振器有效

专利信息
申请号: 201720838809.0 申请日: 2017-07-12
公开(公告)号: CN207008096U 公开(公告)日: 2018-02-13
发明(设计)人: 孔园园;罗海翰;刘定权 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: G02B5/30 分类号: G02B5/30
代理公司: 上海沪慧律师事务所31311 代理人: 李秀兰
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 专利公开了一种带有介质和金属线栅结构的红外偏振器,本专利的偏振器,从下至上分别由透明基底,低折射率亚波长介质线栅层和亚波长金属线栅层构成。基底为中波红外波段透明材料,折射率在1.6到4.0之间,低折射率亚波长介质线栅层折射率在1.3‑2.4之间,金属线栅周期和介质线栅周期相同,在200‑500nm之间。通过基底和亚波长金属线栅之间插入一层具有同样占空比的低折射率亚波长介质线栅层,可有效地提高线栅偏振器在中波红外波段的TM偏振光的透射率和消光比。亚波长金属线栅偏振器具有体积小、可集成化、设计灵活、对偏振光敏感等特点,在集成光学、微纳器件等方面具有很大的应用前景。
搜索关键词: 带有 介质 金属线 结构 红外 偏振
【主权项】:
一种带有介质和金属线栅结构的红外偏振器,由亚波长金属线栅层(1),低折射率亚波长介质线栅层(2)和透明基底(3)构成,其特征在于:所述的红外偏振器结构为:自基底(3)向上依次是低折射率亚波长介质线栅层(2)、亚波长金属线栅层(1);所述的低折射率亚波长介质线栅层(2)的折射率在1.3‑2.4之间,厚度h1为30‑200nm,低折射率亚波长介质线栅层(2)的材料采用MgF2、SiO2、或TiO2,周期p为200‑500nm,占空比w/p是0.4‑0.6;所述的亚波长金属线栅层(1)周期和占空比与低折射率亚波长介质线栅层(2)相同,厚度h2为100‑200nm,金属材料选用Al、Cu、Ag或Au。
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