[实用新型]一种四氯化硅源恒温蒸发瓶有效
| 申请号： | 201720770923.4 | 申请日： | 2017-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN207774816U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 陆时跃;徐年惠;简青青;从书 | 申请（专利权）人： | 中国振华集团永光电子有限公司（国营第八七三厂） |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 贵阳派腾阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 52110 | 代理人： | 谷庆红 |
| 地址： | 550018 贵州省*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种四氯化硅源恒温蒸发瓶，包括储液室、蒸发室、进气管、出气室；所述蒸发室安装在储液室的下端通过联络管道连接导通，所述出气室设置在蒸发室的上端中部，所述进气管设置在出气室内且其下端伸入蒸发室内。本实用新型通过进气管使氢气进出蒸发室，进气管和出气管形成同轴心双层结构，氢气从顶部通过该结构进入底部蒸发室携带出蒸发源并流出石英瓶。该蒸发瓶可满足工艺要求的四氯化硅0℃恒温蒸发，并由氢气携带进入外延生长系统进行生产作业，提高了外延工艺稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发室 进气管 四氯化硅 氢气 蒸发瓶 本实用新型 出气室 储液室 下端 蒸发 外延生长系统 室内 工艺要求 联络管道 连接导通 生产作业 双层结构 外延工艺 携带 出气 上端 出气管 石英瓶 同轴心 蒸发源 伸入 流出 | ||
【主权项】：
1.一种四氯化硅源恒温蒸发瓶，包括储液室(1)、蒸发室(2)、进气管(3)、出气室(4)，其特征在于：所述蒸发室(2)安装在储液室(1)的下端通过联络管道(6)连接导通，所述出气室(4)设置在蒸发室(2)的上端中部，所述进气管(3)设置在出气室(4)内且其下端伸入蒸发室(2)内。
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