[实用新型]WAT测试监控系统有效
| 申请号： | 201720722359.9 | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN206930743U | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 田学艳;郑春玉 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种WAT测试监控系统，用于对WAT测试机台进行监控，所述WAT测试机台包括卡盘以及若干个探针，所述WAT测试监控系统包括所述WAT测试机台和一晶圆，其中所述晶圆包括第一掺杂类型的衬底、形成于所述衬底中的第二掺杂类型的阱以及若干个垫片，若干个所述垫片分别与所述阱电连接；所述晶圆用于放在所述卡盘上，以使所述衬底与所述卡盘电连接；若干个所述探针与若干个所述垫片一一对应，所述垫片用于与对应的所述探针电连接。所述WAT测试监控系统可以监控WAT测试机台的供电线路和探针的异常情况，从而提高WAT测试的结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | wat 测试 监控 系统 | ||
【主权项】：
一种WAT测试监控系统，用于对WAT测试机台进行监控，所述WAT测试机台包括卡盘以及若干个探针，其特征在于，所述WAT测试监控系统包括所述WAT测试机台和一晶圆，其中：所述晶圆包括第一掺杂类型的衬底、形成于所述衬底中的第二掺杂类型的阱以及若干个垫片，若干个所述垫片分别与所述阱电连接；以及所述晶圆用于放在所述卡盘上，以使所述衬底与所述卡盘电连接；若干个所述探针与若干个所述垫片一一对应，所述垫片用于与对应的所述探针电连接。
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