[实用新型]一种半导体元件清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体元件清洗装置，包括清洗箱、回收箱、处理装置和清洗装置，清洗装置设置在清洗箱内部，清洗装置包括水箱、进水管、出水管、雾化喷头和清洗筒，清洗筒两端连接有连接轴，连接轴外端分别连接有第一液压杆和第二液压杆，水箱内部设置有离心泵，清洗箱两侧均设置有超声波发生器和搅拌轴，回收箱和清洗箱之间通过导通管连接在一起，导通管设置在清洗箱底端，处理装置设置在回收箱内部，该装置一次可以清洗多个半导体元件，且通过气雾方式和水洗方式进行清洗，同时采用搅拌和超声波振荡的方式加快清洗速度，清洗更加干净彻底，同时清洗后的水便于回收循环利用，节能环保，值得推广。

主权项

一种半导体元件清洗装置，其特征在于：包括清洗箱(1)、回收箱(2)、处理装置(3)和清洗装置(4)，所述清洗装置(4)设置在清洗箱(1)内部，所述清洗装置(4)包括水箱(5)、进水管(6)、出水管(7)、雾化喷头(8)和清洗筒(9)，所述清洗筒(9)设置在清洗箱(1)内部，所述清洗筒(9)两端连接有连接轴(10)，所述连接轴(10)外端分别连接有第一液压杆(11)和第二液压杆(12)，所述第一液压杆(11)和第二液压杆(12)均通过连接座(13)设置在水箱(5)两侧，所述水箱(5)内部设置有离心泵(14)，所述离心泵(14)通过出水管(7)将水箱(5)内部的水抽出，所述雾化喷头(8)和出水管(7)末端连接在一起，且所述雾化喷头(8)和出水管(7)之间通过密封圈(15)进行密封，所述进水管(6)设置在水箱(5)顶端，所述进水管(6)和出水管(7)均通过导通阀(16)进行控制，所述清洗箱(1)两侧均设置有超声波发生器(17)和搅拌轴(18)，所述超声波发生器(17)通过换能器(19)和外接电源连接进行供电，所述搅拌轴(18)通过搅拌电机(20)进行驱动，所述搅拌电机(20)和超声波发生器(17)均设置保护箱(21)内部，所述回收箱(2)和清洗箱(1)之间通过导通管(23)连接在一起，所述导通管(23)设置在清洗箱(1)底端，所述处理装置(3)设置在回收箱(2)内部，所述回收箱(2)底端设置有回流管(24)，所述处理装置(3)包括两层金属过滤网(26)和活性炭过滤网(27)，所述水箱(5)通过支撑架(28)安装在清洗箱(1)顶端，所述清洗箱(1)侧面设置有离心风机(29)。