[实用新型]一种双层掩膜版组件和蒸镀装置有效
| 申请号： | 201720578925.3 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN207109079U | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 赵蓉;金龙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种双层掩膜版组件和蒸镀装置，涉及显示技术领域，用于使第一掩膜版和第二掩膜版之间可以紧密贴合。该组件包括第一掩膜版、第一掩膜版框架、第二掩膜版和第二掩膜版框架；其中，第一掩膜版固定在所述第一掩膜版框架上，在第一掩膜框架固定第一掩膜版的表面上、且未被第一掩膜版覆盖的区域内设置有第一卡接部；第二掩膜版固定在第二掩膜版框架上，在第二掩膜框架固定第二掩膜版的表面上、且未被第二掩膜版覆盖的区域内设置有第二卡接部；第一掩膜框架固定第一掩膜版的表面与第二掩膜框架固定第二掩膜版的表面相对设置，且第一卡接部与第二卡接部卡合，以便第一掩膜版和第二掩膜版相贴合。本实用新型用于掩膜版组件的制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 掩膜版 组件 装置 | ||
【主权项】：
一种双层掩膜版组件，其特征在于，包括：第一掩膜版；第一掩膜版框架，所述第一掩膜版固定在所述第一掩膜版框架上，在所述第一掩膜版框架固定所述第一掩膜版的表面上、且未被所述第一掩膜版覆盖的区域内设置有第一卡接部；第二掩膜版；第二掩膜版框架，所述第二掩膜版固定在所述第二掩膜版框架上，在所述第二掩膜版框架固定所述第二掩膜版的表面上、且未被所述第二掩膜版覆盖的区域内设置有第二卡接部；所述第一掩膜版框架固定所述第一掩膜版的表面与所述第二掩膜版框架固定所述第二掩膜版的表面相对设置，且所述第一卡接部与所述第二卡接部卡合，以便所述第一掩膜版和所述第二掩膜版相贴合。
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