[实用新型]一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备有效
| 申请号： | 201720543610.5 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN207047319U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 张燕聪;张燕华;陈昌服 | 申请（专利权）人： | 福建新嵛高新柔性材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/02 | 分类号： | C23C28/02;C23C14/56;C25D3/38;C25D5/48 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 366000 福建省三明市永安*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备，包括镀膜设备和后期处理设备；所述镀膜设备包括镀膜机体壳，镀膜机体壳内通过隔板分割之后，由上至下形成前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室；在镀膜机体壳内还设有绕卷装置和冷却装置，其中绕卷装置贯穿前处理室和磁控溅射室；所述磁控溅射室内设有磁控溅射靶装置，所述蒸镀室内设有蒸发装置；所述前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室均外接有一个抽真空装置；所述后期处理设备包括放料装置、前处理槽、第一级电镀铜槽、第二级电镀铜槽、水洗槽、抗氧化处理槽、烘干箱、收料装置。本实用新型能有效的提高到导电膜层的附着力，满足高附着力要求产品的需要，实现了磁控溅射镀膜与蒸发镀膜有机结合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 轮廓 柔性 线路板 材料 生产 设备 | ||
【主权项】：
一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备，其特征在于：包括镀膜设备和后期处理设备；所述镀膜设备包括镀膜机体壳，镀膜机体壳内通过隔板分割之后，由上至下形成前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室；在镀膜机体壳内还设有绕卷装置和冷却装置，其中绕卷装置贯穿前处理室和磁控溅射室；所述磁控溅射室内设有磁控溅射靶装置，所述蒸镀室内设有蒸发装置；所述前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室均外接有一个抽真空装置；所述后期处理设备包括放料装置、前处理槽、第一级电镀铜槽、第二级电镀铜槽、水洗槽、抗氧化处理槽、烘干箱、收料装置。
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