[实用新型]质量流量控制器及流量控制系统有效
| 申请号： | 201720440458.8 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN206757417U | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 杜井庆;苏乾益 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创流量计有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种质量流量控制器及流量控制系统，其包括流量检测单元、流量调节单元和控制单元，其中，流量检测单元用于检测流体的瞬时质量流量，并将其发送至控制单元；控制单元根据瞬时质量流量和预设的目标质量流量向流量调节单元发送控制信号；流量调节单元根据控制信号调节流体的质量流量。流量检测单元包括层流元件和压差检测单元，其中，层流元件用于使流经的流体处在层流状态；压差检测单元用于检测层流元件中的气体压力信号，并将其发送至控制单元；控制单元根据气体压力信号计算获得流体的瞬时质量流量。本实用新型提供的质量流量控制器，其具有温度漂移小、响应时间快、流量输出不受压力波动影响以及流体的进出口可以互换的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 流量 控制器 控制系统 | ||
【主权项】：
一种质量流量控制器，包括流量检测单元、流量调节单元和控制单元，其中，所述流量检测单元用于检测流体的瞬时质量流量，并将其发送至所述控制单元；所述控制单元根据所述瞬时质量流量和预设的目标质量流量向所述流量调节单元发送控制信号；所述流量调节单元根据所述控制信号调节所述流体的质量流量，其特征在于，所述流量检测单元包括层流元件和压差检测单元，其中，所述层流元件用于使流经的流体处在层流状态；所述压差检测单元用于检测所述层流元件中的气体压力信号，并将其发送至所述控制单元；所述控制单元根据所述气体压力信号计算获得所述流体的瞬时质量流量。
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