[实用新型]衬底有效
| 申请号： | 201720388304.9 | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN206804195U | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;石磊;蒋春磊 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施方式公开了一种衬底，属于薄膜领域的技术方案，其核心在于所述衬底包括相对布置的测量面和镀膜面，所述测量面为抛光面；此方案可采用光杠杆法对所述衬底的测量面进行曲率半径测量，得出R'0(镀薄膜前)和R'(镀薄膜后)，最后代入薄膜应力计算公式便可得出薄膜应力σ，此方法对薄膜的反光能力并无要求，只要保证衬底的测量面为抛光面，便可应用光杆杠法得出薄膜应力σ，解决现有技术必须薄膜实现反光才能测量薄膜应力的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 | ||
【主权项】：
一种衬底，其特征在于，所述衬底包括相对布置的测量面和镀膜面，所述测量面为抛光面。
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