[实用新型]干湿一体机及生产线

摘要

本实用新型提供了一种干湿一体机，包括插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构、RIE干法制绒机、自动叠片机和花篮自动回转机构；所述插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构依次连接，所述RIE干法制绒机和自动叠片机分别与所述自动化上下料机构连接，所述花篮自动回转机构安装在所述插片上料机和所述自动化前清洗机之间；本实用新型的整套设备为实现硅片的“干法制绒”工艺，集成了硅片自动插片、前清洗、硅片自动化转换到干法制绒设备上、干法制绒、硅片自动化叠片等工艺和技术。该整套设备不需要人工干预，全部使用自动化设备。在此基础上，本实用新型还提供了一种采用该干湿一体机的生产线。

主权项

一种干湿一体机，其特征在于，包括插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构、RIE干法制绒机、自动叠片机和花篮自动回转机构；所述插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构依次连接，所述RIE干法制绒机和自动叠片机分别与所述自动化上下料机构连接，所述花篮自动回转机构安装在所述插片上料机和所述自动化前清洗机之间；所述插片上料机用于将一整叠的硅片插入到空花篮中并送入所述自动化前清洗机；所述自动化前清洗机用于对硅片进行去损伤清洗；所述自动化上下料机构将经过清洗的硅片从花篮中取出放到RIE干法制绒机上，并将制绒后的硅片从RIE干法制绒机上取下；所述RIE干法制绒机用于在硅片表面蚀刻形成减反射层绒面；所述自动叠片机将制绒过的硅片取下，叠成一定数量；所述花篮自动回转机构将取走硅片的空花篮输送到插片上料机的出料口处。