[实用新型]单晶炉及其副室有效
申请号: | 201720322216.9 | 申请日: | 2017-03-29 |
公开(公告)号: | CN206635452U | 公开(公告)日: | 2017-11-14 |
发明(设计)人: | 沈浩锋;周杰;周林伟;朱伟忠;陈骝 | 申请(专利权)人: | 天通吉成机器技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 李海建 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请公开了一种单晶炉的副室,所述副室为伸缩式结构。在工厂厂房高度和单晶炉整体高度一定的情况下,副室可以通过由下向上收缩,使副室远离主炉室,副室与主炉室之间的距离可以满足使用要求,将长晶棒的下端露出副室的底端,从而将长晶棒从副室中取出。可见该副室能够在厂房高度一定的情况下,增加晶棒的生产长度,提高了晶棒的生产效率。本申请还公开了一种应用该副室的单晶炉。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 及其 | ||
【主权项】:
一种单晶炉的副室,其特征在于,所述副室(1)为伸缩式结构。
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