[实用新型]利用压电致动的振荡结构、投射MEMS系统

摘要

公开了利用压电致动的振荡结构、投射MEMS系统。该振荡结构(30)包括第一扭转弹性元件(56)和第二扭转弹性元件(58)，该第一扭转弹性元件和该第二扭转弹性元件被限制到固定的支撑体(40)的对应部分并且限定旋转轴(O)；移动元件(55，57，60)，该移动元件被设置在该第一与第二扭转弹性元件(56，58)之间并连接到该第一和第二扭转弹性元件，由于该第一和第二可变形元件的扭转，该移动元件可围绕该旋转轴(O)旋转；以及第一控制区域(66)，该第一控制区域耦合到该移动元件(55，57，60)并且容纳第一压电致动器(70)，该第一压电致动器被配置成用于在使用中引起该第一控制区域(66)的局部变形，该局部变形生成该第一和第二扭转弹性元件(56，58)的扭转。

主权项

一种利用压电致动的振荡结构，其特征在于，所述振荡结构包括：第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件，所述第一扭转弹性元件和第二扭转弹性元件被限制到固定的支撑体的对应部分并且限定旋转轴；移动元件，所述移动元件被安排在所述第一与第二扭转弹性元件之间并连接到所述第一和第二扭转弹性元件，由于所述第一和第二可变形元件的扭转，所述移动元件可围绕所述旋转轴旋转；以及第一控制区域，所述第一控制区域耦合到所述移动元件并且容纳第一压电致动器，所述第一压电致动器被配置成用于在使用中引起所述第一控制区域的局部变形，所述局部变形生成所述第一和第二扭转弹性元件的扭转。