[实用新型]一种紫外激光远心F‑theta扫描场镜有效
| 申请号： | 201720220339.1 | 申请日： | 2017-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN206696510U | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 庄怀港;谭羽 | 申请（专利权）人： | 上海仪万光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B13/22;G02B1/00;G02B19/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司31225 | 代理人： | 褚明伟 |
| 地址： | 200072 上海市闸北*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种紫外激光远心F‑theta扫描场镜，从激光入射方向开始，包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜，其中第一透镜为双凹负透镜，第二透镜为凹面朝向入射光侧的弯月正透镜，第三透镜凹面朝向入射光侧的弯月正透镜，第四透镜为双凸正透镜，第五透镜为凸平正透镜，其中凸面朝向入射光侧。与现有技术相比，本实用新型扫描场镜排布成“‑++++”的光焦度分布，使扫描场镜的出瞳位于无限远处，视场内的像方主光线的远心<1.5°，扫描场镜的像差良好的校正，各视场的波像差均小于λ/10，扫描场镜具有大的视场，而且镜片加工容易，造价低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 激光 theta 扫描 | ||
【主权项】：
一种紫外激光远心F‑theta扫描场镜，其特征在于，从激光入射方向开始，包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜，其中所述的第一透镜为双凹负透镜，第二透镜为凹面朝向入射光侧的弯月正透镜，第三透镜凹面朝向入射光侧的弯月正透镜，第四透镜为双凸正透镜，第五透镜为凸平正透镜，其中凸面朝向入射光侧。
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