[实用新型]镁蒸气还原钽酸锂晶片的装置有效
| 申请号： | 201720135248.8 | 申请日： | 2017-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN206457557U | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 张学锋;董学祥;梁斌 | 申请（专利权）人： | 宁夏钜晶源晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/30 | 分类号： | C30B29/30;C30B33/00 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所64103 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 753000 宁夏回族自治区石嘴山市大*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种镁蒸气还原钽酸锂晶片的装置，包括炉体、旋转支架及真空装置，所述炉体内盛装有镁粉，所述真空装置与所述炉体连接，本实用新型的装置设置了炉体、内炉管、旋转支架及真空装置，通过旋转支架对钽酸锂晶片进行装夹，在还原过程中旋转钽酸锂晶片，保证蒸出的镁蒸汽均匀接触钽酸锂晶片，进一步保证了钽酸锂晶片还原的均匀性，通过真空装置实现了对镁蒸气还原钽酸锂晶片的装置的抽真空，实现了对镁粉进行气化，利用生成的镁蒸汽作为还原剂对钽酸锂晶片进行还原，大幅提升了钽酸锂晶片还原的均匀性，石墨材质的内炉管的表面不易形成氧化物膜，避免了内炉管的材料与还原剂气体发生反应。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸气 还原 钽酸锂 晶片 装置 | ||
【主权项】：
一种镁蒸气还原钽酸锂晶片的装置，其特征在于：包括炉体、内炉管、旋转支架及真空装置，所述炉体内设有容纳所述内炉管的空腔，所述内炉管设置在所述炉体的内部空腔内，所述内炉管内设有用于盛装镁粉的空腔，所述旋转支架沿着所述炉体、所述内炉管的长度方向贯穿于所述炉体、所述内炉管的内部，所述旋转支架包括夹持钽酸锂晶片的支架体，且旋转支架能相对于炉体及内炉管旋转，以使镁蒸气均匀地接触每片所述钽酸锂晶片，进而保证镁蒸气均匀地还原所有所述钽酸锂晶片，所述真空装置与所述内炉管内的空腔连通，以通过对所述内炉管的内腔抽真空使炉体内的镁粉能在较低的加热温度下气化，生成镁蒸气。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁夏钜晶源晶体科技有限公司，未经宁夏钜晶源晶体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720135248.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种硅料生产用坩埚及其单晶硅拉制系统
- 下一篇：一种单晶炉加长室焊接结构
