[实用新型]一种砷化镓废料分离回收装置

摘要

本实用新型提供一种砷化镓废料分离回收装置，该装置包括上料机构、加热炉、真空泵组和冷凝器；其中，所述上料机构包括支撑臂、上料托臂和导轨；所述加热炉包括前门法兰组件、炉腔，所述炉腔包括依次相连的加热区域内石英管腔、冷却区域内的冷却腔以及取料腔；所述真空泵组与所述炉腔连通；所述冷凝器包括缠绕于冷却腔外的冷凝管。采用本实用新型所述砷化镓废料分离回收装置能直接分离出高纯的金属镓和单质砷，砷和镓单独收集且镓的回收率高，成本低廉，对环境无污染，且无有毒物质产生，更有利于操作和人员安全，维护成本低。

主权项

一种砷化镓废料分离回收装置，其特征在于，包括上料机构、加热炉、真空泵组和冷凝器；其中，所述上料机构包括支撑臂、上料托臂和导轨，所述支撑臂与所述导轨滑动连接，用于支撑所述上料托臂；所述支撑臂侧面设有滑轨，所述上料托臂通过所述滑轨与所述支撑臂滑动连接，用于放置和运送装有砷化镓废料的石英料盒；所述加热炉包括前门法兰组件、炉腔，所述炉腔包括依次相连的加热区域内石英管腔、冷却区域内的冷却腔以及取料腔，所述前门法兰组件固定于所述石英管腔的一端；所述真空泵组与所述炉腔连通；所述冷凝器包括缠绕于冷却腔外的冷凝管，用于冷却冷却腔，使反应中分离的砷蒸汽经过冷凝，沉积在冷却腔。