[实用新型]一种曝光内层板的对位标定装置及应用其的曝光机有效
| 申请号： | 201720092909.3 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN206557530U | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 蔡志国;朱俊伟;吴斌;罗宜清;张显峰;张兴旺 | 申请（专利权）人： | 苏州微影激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙)44309 | 代理人： | 廉红果 |
| 地址： | 215009 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种曝光内层板的对位标定装置，包括平台和曝光标定装置，所述平台表面设置有安装孔，所述曝光标定装置安装于安装孔内，所述曝光标定装置包括有两组，两组所述曝光标定装置分别靠近平台任意相邻的边缘设置。该对位标定装置，将曝光标定装置分为两组安装于平台内，两组曝光标定装置分别靠近平台任意相邻的两个边缘设置，满足了在XY方向上分别能曝光对位的要求，保证了在XY方向上曝光图形涨缩值的一致性，提高了曝光标定的精度。本实用新型还设计了应用该对位标定装置的曝光机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 内层 对位 标定 装置 应用 | ||
【主权项】：
一种曝光内层板的对位标定装置，其特征在于，包括平台和曝光标定装置，所述平台表面设置有安装孔，所述曝光标定装置安装于安装孔内，所述曝光标定装置包括有两组，两组所述曝光标定装置分别靠近平台任意相邻的边缘设置。
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