[实用新型]一种耦合的多晶硅生产系统有效
| 申请号： | 201720091880.7 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN206447580U | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 吴锋;田新;谢世鹏;李福中;吴鹏 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种耦合的多晶硅生产系统，包含太阳能级多晶硅生产系统和电子级多晶硅生产系统，所述太阳能级多晶硅生产系统包括按以下方向顺序连接形成第一回路的第一精馏装置(1)、太阳能级还原装置(2)、第一尾气回收装置(3)和冷氢化装置(4)，所述电子级多晶硅生产系统包括按以下方向顺序连接形成第二回路的热氢化装置(5)、热氢化尾气分离装置(6)、第二精馏装置(7)、电子级还原装置(8)、第二尾气回收装置(9)、第三精馏装置(10)；所述第一精馏装置(1)连接到第二精馏装置(7)，所述热氢化尾气分离装置(6)连接到冷氢化装置(4)。本实用新型能够有效的降低电子级多晶硅的生产成本，降低电子级多晶硅的质量控制风险，同时提高太阳能级多晶硅生产系统的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耦合 多晶 生产 系统 | ||
【主权项】：
一种耦合的多晶硅生产系统，其特征在于，包含太阳能级多晶硅生产系统和电子级多晶硅生产系统，所述太阳能级多晶硅生产系统包括按以下方向顺序连接形成第一回路的第一精馏装置(1)、太阳能级还原装置(2)、第一尾气回收装置(3)和冷氢化装置(4)，所述电子级多晶硅生产系统包括按以下方向顺序连接形成第二回路的热氢化装置(5)、热氢化尾气分离装置(6)、第二精馏装置(7)、电子级还原装置(8)、第二尾气回收装置(9)、第三精馏装置(10)；所述太阳能级多晶硅生产系统的第一精馏装置(1)连接到电子级多晶硅生产系统的第二精馏装置(7)，所述电子级多晶硅生产系统的热氢化尾气分离装置(6)连接到太阳能级多晶硅生产系统的冷氢化装置(4)。
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