[实用新型]单晶炉智能监控装置有效
| 申请号： | 201720061246.9 | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN206408310U | 公开（公告）日： | 2017-08-15 |
| 发明（设计）人： | 林志高 | 申请（专利权）人： | 福建鑫磊晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙)44251 | 代理人： | 刘汉民 |
| 地址： | 352300 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了单晶炉智能监控装置，包括控制器、报警器、提升轴转速传感器、坩埚顶升轴转速传感器、炉内温度传感器、炉外温度传感器、保护气体流量计和保护气体流速计，控制器分别与报警器、提升轴转速传感器、坩埚顶升轴转速传感器、炉内温度传感器、炉外温度传感器、保护气体流量计和保护气体流速计电性连接。本实用新型能监测提升轴的转速和提升速度，监测坩埚顶升轴的转速和提升速度，监测炉内和炉外壁的温度，监测保护气体流量和流速。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 智能 监控 装置 | ||
【主权项】：
单晶炉智能监控装置，其特征在于：包括控制器、报警器、提升轴转速传感器、坩埚顶升轴转速传感器、炉内温度传感器、炉外温度传感器、保护气体流量计和保护气体流速计，控制器分别与报警器、提升轴转速传感器、坩埚顶升轴转速传感器、炉内温度传感器、炉外温度传感器、保护气体流量计和保护气体流速计电性连接。
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