[实用新型]基板搬送机构的上料机构

摘要

本实用新型公开了一种基板搬送机构的上料机构，包括搬送机构、顶升机构和机架板；搬送机构包括上料滑轨、上料滑板、上料托板、滚珠丝杆、丝杆螺母、丝杆轴承座和电机；上料滑轨、电机和丝杆轴承座固定在机架板上，上料滑板可滑动的设在上料滑轨上，上料托板固定在上料滑板上；滚珠丝杆设在丝杆轴承座上，滚珠丝杆与电机连接，丝杆螺母套设在滚珠丝杆上，丝杆螺母与上料滑板连接；顶升机构包括顶升气缸、顶升板和顶杆，顶升气缸与机架板连接，顶升板固定在顶升气缸上，顶杆固定在顶升板上。通过上述方式，本实用新型能够将基板工装精确的搬送到指定工位，能够在基板放置时对基板工装起到支撑作用，放置过程不损坏零部件。

主权项

一种基板搬送机构的上料机构，其特征在于，包括：搬送机构、顶升机构和机架板；所述搬送机构包括上料滑轨、上料滑板、上料托板、滚珠丝杆、丝杆螺母、丝杆轴承座和电机；所述上料滑轨、电机和丝杆轴承座固定在机架板上，上料滑板可滑动的设在上料滑轨上，上料托板固定在上料滑板上；所述滚珠丝杆设在丝杆轴承座上，滚珠丝杆与电机连接，丝杆螺母套设在滚珠丝杆上，丝杆螺母与上料滑板连接；所述顶升机构包括顶升气缸、顶升板和若干顶杆，顶升气缸与机架板连接，顶升板固定在顶升气缸的活塞杆上，顶杆固定在顶升板上；所述机架板上对应滚珠丝杆和顶升板的位置开有避让口；所述上料滑板和上料托板上开有若干顶杆避让孔。