[发明专利]一种气密性LTCC基板及穿墙微带结构在审
申请号: | 201711480334.3 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN107993986A | 公开(公告)日: | 2018-05-04 |
发明(设计)人: | 吕洋;董兆文;沐方清;李建辉;项玮;马涛;王岩;吴建利 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 |
主分类号: | H01L23/14 | 分类号: | H01L23/14;H01L23/538 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙)34115 | 代理人: | 王丽丽,金凯 |
地址: | 230088 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及一种气密性LTCC基板及穿墙微带结构,包括上层生瓷带和下层生瓷带,所述上层生瓷带沿其下表面设有向外延伸的第一连接部,所述下层生瓷带沿其上表面设有与所述第一连接部相对应的第二连接部,所述第一连接部与第二连接部连接,上层生瓷带和下层生瓷带之间设有金属接地层,所述金属接地层上设有开孔,所述上层生瓷带和下层生瓷带通过开孔压紧烧结紧密连接。本发明所述的气密性LTCC基板及穿墙微带结构,通过减少接地金属与白瓷的接触面积,从而在烧结过程中使得上下层生瓷间形成致密连接,这样既不影响接地金属信号功能的连续性,又能够通过材料设计使得上下两层烧结致密,从而减少了气体的泄漏通道,降低了基板的漏率。 | ||
搜索关键词: | 一种 气密性 ltcc 穿墙 微带 结构 | ||
【主权项】:
一种气密性LTCC基板,其特征在于:包括上层生瓷带(11)和下层生瓷带(12),所述上层生瓷带(11)沿其下表面设有向外延伸的第一连接部(13),所述下层生瓷带(12)沿其上表面设有与所述第一连接部(13)相对应的第二连接部(14),所述第一连接部(13)与第二连接部(14)连接,上层生瓷带(11)和下层生瓷带(12)之间设有金属接地层(15),所述金属接地层(15)上设有开孔(16),所述上层生瓷带(11)和下层生瓷带(12)通过开孔(16)压紧烧结紧密连接。
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