[发明专利]传感器元件

摘要

提供了一种传感器元件，其通过提供与特定方向的延伸长度相对应的电阻变化长度比率而具有高测量精度。该传感器元件包括布置在传感器主体中的用以测量温度和压力并且具有基于温度或压力而变形的膜片的元件主体。另外，该传感器元件包括压力测量电阻器，其包括相对于膜片的上表面的中心沿着径向并且在膜片的上表面上的延伸部中布置的第二电阻器部分和第四电阻器部分，并且包括在所述膜片的上表面上的压缩部中布置在所述第二电阻器部分或所述第四电阻器部分外侧的第一电阻器部分和第三电阻器部分，以消除由特定压力的温度变化所引起的电阻变化。

主权项

1.一种传感器元件，包括：布置在传感器主体中的元件主体，被配置为测量温度和压力并且具有基于所述温度或所述压力而变形的膜片；以及压力测量电阻器，包括相对于所述膜片的上表面的中心沿着径向并且在所述膜片的上表面上的延伸部中布置的第二电阻器部分和第四电阻器部分，并且包括在所述膜片的上表面上的压缩部中布置在所述第二电阻器部分或所述第四电阻器部分外侧的第一电阻器部分和第三电阻器部分，以消除由特定压力的温度变化所引起的电阻变化，其中，所述压力测量电阻器的第一电阻器部分和第三电阻器部分包括各自沿着所述膜片的周向布置的多个弧线和沿着所述膜片的径向布置的多个直线，其中所述多个弧线的长度之和等于电阻变化偏移倍数与所述多个直线的长度之和的乘积，所述电阻变化偏移倍数是被计算来将所述径向中的压缩应变量与所述周向中的拉伸应变量之和相互抵消并且和为零的值，并且其中布置在所述膜片的上表面上的压缩部中的第一电阻器部分和第三电阻器部分具有弧形或直线形。