[发明专利]铜铟镓硒太阳能电池吸收层的制备方法

摘要

本发明公开了一种铜铟镓硒太阳能电池吸收层的制备方法，其包括向腔室中同时通入硒化氢气体和惰性气体，在第一功率下和第一时间段内通过磁控溅射工艺向室温下的基板溅射铜镓靶材和铟靶材；提高基板的温度至预设温度，在第二时间段内通过磁控溅射工艺向基板溅射铜镓靶材和铟靶材；将第一功率提升至第二功率，在预设温度条件下以及在第三时间段内通过磁控溅射工艺向基板溅射铜镓靶材和铟靶材。本发明提供的铜铟镓硒太阳能电池吸收层的制备方法，通过在H2Se气氛中同时溅射CuGa靶材和In靶材，使CIGS吸收层仅通过一个步骤即可溅射成型，有效简化了加工工艺，提高了生产效率和控制精度。

主权项

一种铜铟镓硒太阳能电池吸收层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：向腔室中同时通入硒化氢气体和惰性气体，在第一功率下和第一时间段内通过磁控溅射工艺向室温下的基板溅射铜镓靶材和铟靶材；提高所述基板的温度至预设温度，在第二时间段内通过磁控溅射工艺向所述基板溅射铜镓靶材和铟靶材；将所述第一功率提升至第二功率，在所述预设温度条件下以及在第三时间段内通过磁控溅射工艺向所述基板溅射铜镓靶材和铟靶材，以形成铜铟镓硒吸收层。