[发明专利]涂布装置以及涂布方法

摘要

本发明涉及一种在涂布机构的移动方向上隔开的涂布膜的形成，其目的在于提供一种可高水平地维持涂布处理的精度，并可缩短涂布处理时间的涂布装置以及涂布方法。与本发明有关的涂布装置通过进行使第2涂布机构(16)到达第2端部(16y)的时机晚于第1涂布机构(14)到达第1端部(14y)的时机的时间差控制，使第1涂布机构(14)与第2涂布机构(16)隔开，并使第1涂布机构(14)及第2涂布机构(16)的移动的至少一部分在时间上并行来进行。

主权项

1.一种涂布装置，其特征在于包括：载置台，用于配置基板；第1涂布机构，能够在作为沿配置于所述载置台的所述基板的上表面的方向的第1方向上移动，且将第1涂布材涂布于所述基板的上表面的第1涂布区域；第2涂布机构，能够在作为与所述第1方向对向的方向的第2方向上移动，且将第2涂布材涂布于所述基板的上表面的第2涂布区域；第1维护部，位于所述载置台的其中一侧，且对所述第1涂布机构进行第1维护处理；第2维护部，位于所述载置台的另一侧，且对所述第2涂布机构进行第2维护处理；以及控制部，控制所述第1涂布机构的动作及所述第2涂布机构的动作；所述控制部为了进行所述第1维护处理，使所述第1涂布机构位于所述第1维护部后，在所述第1涂布区域使所述第1涂布机构在所述第1方向移动，进而所述第1涂布机构到达所述第1涂布区域的第1端部后，使所述第1涂布机构自所述第1端部退避，所述控制部为了进行所述第2维护处理，使所述第2涂布机构位于所述第2维护部后，在所述第2涂布区域使所述第2涂布机构在所述第2方向移动，进而使所述第2涂布机构到达所述第2涂布区域的第2端部，所述第1端部与所述第2端部之间的距离为位于所述第1端部的所述第1涂布机构与位于所述第2端部的所述第2涂布机构进行接触的距离以下，所述控制部通过进行使所述第2涂布机构到达所述第2端部的时机晚于所述第1涂布机构到达所述第1端部的时机的时间差控制，使所述第1涂布机构与所述第2涂布机构隔开，并使所述第1涂布机构及所述第2涂布机构的移动的至少一部分在时间上并行来进行。