[发明专利]顶层金属连线电迁移测试结构在审
| 申请号： | 201711345487.7 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN108091636A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 王焱;谭静;陈雷刚;周柯;高金德 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种顶层金属连线电迁移测试结构，用一条下层金属连线实现跨层连接，用上层金属作为金属引线。本发明用于解决现有技术中无法准确评估电迁移是否受到测试结构金属引线的影响，从而无法保证电迁移可靠性分析准确性的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电迁移测试结构 顶层金属 金属引线 连线 电迁移可靠性 测试结构 金属连线 准确评估 电迁移 跨层 下层 上层 金属 分析 保证 | ||
【主权项】：
1.一种顶层金属连线电迁移测试结构，其特征在于：利用一条下层金属连线实现跨层连接，用上层金属作为金属引线。
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