[发明专利]线性电磁波等离子体源及使用其的等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201711328443.3 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108243550B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 刘铉钟 | 申请（专利权）人： | 韩国基础科学支援研究院 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 王刚;龚敏 |
| 地址： | 韩国大田*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明线性电磁波等离子体源及使用其的等离子体处理装置包括：长的圆筒形波导管；电介质层，以与上述圆筒形波导管的外部面相接触的方式包围上述圆筒形波导管；以及第一磁控管及第二磁控管，用于向上述圆筒形波导管的两端供给电磁波，上述圆筒形波导管包括沿着长度方向形成的2个以上的狭缝。若使用这种线性电磁波等离子体源及使用其的等离子体处理装置，则随着使用圆形波导管，可使为了维持圆形波导管的内部和外部的压力差而设置的电介质层的厚度薄，由此，从圆形波导管放射的电磁波的衰减减少，可增加电磁波的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 线性 电磁波 等离子体 使用 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种线性电磁波等离子体源，其特征在于，包括：长的圆筒形波导管；电介质层，以与上述圆筒形波导管的外部面相接触的方式包围上述圆筒形波导管；以及第一磁控管及第二磁控管，用于向上述圆筒形波导管的两端供给电磁波，上述圆筒形波导管包括沿着长度方向形成的2个以上的狭缝。
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