[发明专利]一种红外加热灯管装置在审

专利信息
申请号: 201711326719.4 申请日: 2017-12-13
公开(公告)号: CN107841728A 公开(公告)日: 2018-03-27
发明(设计)人: 董志清 申请(专利权)人: 北京创昱科技有限公司
主分类号: C23C16/48 分类号: C23C16/48
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司11002 代理人: 王莹,吴欢燕
地址: 102209 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及红外加热灯管技术领域,尤其涉及一种红外加热灯管装置。该红外加热灯管装置包括安装底板以及设置在所述安装底板上的多个红外加热灯管,所述的多个红外加热灯管以所述安装底板的中心为圆心按照圆周方向呈放射状排列,且每个所述红外加热灯管的延长线均指向所述安装底板的中心。本发明所述的红外加热灯管装置,通过将红外加热灯管以安装底板的中心为圆心按照圆周方向呈放射状排列,可以实现更好的温度均匀性控制,满足更高的工艺均匀性要求。
搜索关键词: 一种 红外 加热 灯管 装置
【主权项】:
一种红外加热灯管装置,其特征在于:包括安装底板以及设置在所述安装底板上的多个红外加热灯管,所述的多个红外加热灯管以所述安装底板的中心为圆心按照圆周方向呈放射状排列,且每个所述红外加热灯管的延长线均指向所述安装底板的中心。
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