[发明专利]一种红外加热灯管装置在审
申请号: | 201711326719.4 | 申请日: | 2017-12-13 |
公开(公告)号: | CN107841728A | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
发明(设计)人: | 董志清 | 申请(专利权)人: | 北京创昱科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/48 | 分类号: | C23C16/48 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人: | 王莹,吴欢燕 |
地址: | 102209 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及红外加热灯管技术领域,尤其涉及一种红外加热灯管装置。该红外加热灯管装置包括安装底板以及设置在所述安装底板上的多个红外加热灯管,所述的多个红外加热灯管以所述安装底板的中心为圆心按照圆周方向呈放射状排列,且每个所述红外加热灯管的延长线均指向所述安装底板的中心。本发明所述的红外加热灯管装置,通过将红外加热灯管以安装底板的中心为圆心按照圆周方向呈放射状排列,可以实现更好的温度均匀性控制,满足更高的工艺均匀性要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 红外 加热 灯管 装置 | ||
【主权项】:
一种红外加热灯管装置,其特征在于:包括安装底板以及设置在所述安装底板上的多个红外加热灯管,所述的多个红外加热灯管以所述安装底板的中心为圆心按照圆周方向呈放射状排列,且每个所述红外加热灯管的延长线均指向所述安装底板的中心。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的