[发明专利]用于大面积AZO透明导电玻璃的磁控溅射镀膜生产线在审
| 申请号： | 201711320091.7 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN109913844A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 祝海生;黄乐;陈立;凌云;黄夏;孙桂红;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开用于大面积AZO透明导电玻璃的磁控溅射镀膜生产线，包括依次连接的进口室、进口缓冲室、溅镀室、出口传送室、出口缓冲室和出口室，所述进口缓冲室和溅镀室为真空室，相邻的室之间设有至少一个阀门；所述生产线还包括传送机构，所述传送机构衔接于相邻室之间；所述溅镀室内设有至少一个溅镀盘，所述溅镀盘设有至少三个靶位，所述溅镀盘通过第一驱动装置靠近或者远离玻璃基片。本发明的用于大面积AZO透明导电玻璃的磁控溅射镀膜生产线，该生产线生产效率高，镀膜纯度高，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀 磁控溅射镀膜 透明导电玻璃 缓冲室 传送机构 溅镀室 第一驱动装置 玻璃基片 生产效率 依次连接 出口室 传送室 进口室 相邻室 真空室 靶位 镀膜 阀门 进口 出口 室内 衔接 节约 | ||
【主权项】：
1.一种用于大面积AZO透明导电玻璃的磁控溅射镀膜生产线，其特征在于，包括依次连接的进口室(1)、进口缓冲室(2)、溅镀室、出口传送室(5)、出口缓冲室(6)和出口室(7)，所述进口缓冲室(2)和溅镀室为真空室，相邻的室之间设有至少一个阀门；所述生产线还包括传送机构，所述传送机构衔接于相邻室之间；所述溅镀室内设有至少一个溅镀盘(8)，所述溅镀盘(8)设有至少三个靶位(9)，所述溅镀盘(8)通过第一驱动装置靠近或者远离玻璃基片。
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