[发明专利]被加工物的加工方法在审
| 申请号： | 201711316175.3 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN108202183A | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 荒川太朗 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供被加工物的加工方法，能够防止因被照射面的凹凸而引起的激光束的折射，而在被加工物的内部形成适当的改质层。该被加工物的加工方法包含如下的步骤：树脂层形成步骤，在被加工物的背面上形成使激光束透过的树脂层；覆盖部件密接步骤，使覆盖部件的背面与形成于被加工物的背面上的树脂层密接，该覆盖部件使激光束透过并且具有比被加工物的背面平坦的正面；以及激光束照射步骤，从覆盖部件的露出的正面侧隔着树脂层对被加工物照射激光束，在被加工物的内部形成改质层，通过树脂层和覆盖部件来抑制因背面的凹凸而引起的激光束的折射。 | ||
| 搜索关键词： | 被加工物 覆盖部件 树脂层 背面 激光束 激光束透过 改质层 密接 照射 激光束照射步骤 加工 折射 平坦 | ||
【主权项】：
1.一种被加工物的加工方法，对板状的被加工物从背面侧照射对于该被加工物具有透过性的波长的激光束而在该被加工物的内部形成沿着分割预定线的改质层，该被加工物具有：正面，其在由该分割预定线划分的区域中形成有器件；以及梨皮状的背面，其具有凹凸，该被加工物的加工方法的特征在于，具有如下的步骤：树脂层形成步骤，在该被加工物的该背面上形成使该激光束透过的树脂层；覆盖部件密接步骤，使覆盖部件的背面与形成于该被加工物的该背面上的该树脂层密接，该覆盖部件使该激光束透过并且具有比该被加工物的该背面平坦的正面；以及激光束照射步骤，从该覆盖部件的露出的该正面侧隔着该树脂层对该被加工物照射该激光束，在该被加工物的内部形成该改质层，通过该树脂层和该覆盖部件来抑制因该背面的凹凸而引起的该激光束的折射。
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