[发明专利]蚀刻生产线的监控装置在审
| 申请号： | 201711302275.0 | 申请日： | 2017-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN109905971A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 王思 | 申请（专利权）人： | 王思 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710000 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 蚀刻生产线的监控装置，包括显影段监控装置、蚀刻段监控装置和剥膜段监控装置，所述显影段监控装置、所述蚀刻段监控装置和所述剥膜段监控装置均设置有监控入板数量的计算装置，所述显影段监控装置、所述蚀刻段监控装置和所述剥膜段监控装置均设置有用于监控水位的水位感应器，所述显影段监控装置、所述蚀刻段监控装置和所述剥膜段监控装置均设置有用于监控温度的温度感应器；本发明的监控装置应用于蚀刻生产线后，生产过程不需要人工监控，而且还可以提高良品率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 监控装置 蚀刻 显影段 剥膜 水位感应器 温度感应器 计算装置 监控水位 人工监控 生产过程 良品率 监控 入板 应用 | ||
【主权项】：
1.蚀刻生产线的监控装置，包括显影段监控装置、蚀刻段监控装置和剥膜段监控装置，其特征在于：所述显影段监控装置、所述蚀刻段监控装置和所述剥膜段监控装置均设置有监控入板数量的计算装置，所述显影段监控装置、所述蚀刻段监控装置和所述剥膜段监控装置均设置有用于监控水位的水位感应器，所述显影段监控装置、所述蚀刻段监控装置和所述剥膜段监控装置均设置有用于监控温度的温度感应器。
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