[发明专利]一种基于纳米级平行测量方法及其测量装置

摘要

本发明公开了一种测量装置，其技术方案要点是包括第一油浮轴承座和与第一油浮轴承座相对的第二油浮轴承座，第一油浮轴承座和第二油浮轴承座均包括轴芯，所述轴芯一端上设有锥度头，所述第一油浮轴承座和第二油浮轴承座之间设有两台摄像机，该两台摄像机垂直于锥度头顶部90度方向放置，本发明以第三方的测量设备简单且高精度的测量设备平行；测量设备的移动和搬迁方便；满足工业高精度和特殊用法的被装配产品批量化，满足比如数控车床，扎辊磨床、导轨磨床、无芯磨床等设备的装配调试、产品装配平行等。

主权项

1.一种基于纳米级平行测量方法，其特征是：包括将第一油浮轴承座和第二油浮轴承座均放置在所需要测量设备上，使第一油浮轴承座和第二油浮轴承座在一条直线上且平行；然后在第一油浮轴承座和第二油浮轴承座上的轴芯一端均安装锥度头；首先对第一油浮轴承座测量同心度精度测量：①、安置0.1微米带测量刻度放大镜500倍以上分辨率的摄像机两台；该两台0.1微米带测量刻度放大镜500倍以上分辨率的摄像机垂直于锥度头顶部90度方向放置，用于测是测量XY方向；②、然后通过慢速转动油浮轴上的锥度头几周，测定锥度头尖顶部其回转摆动椭圆；③、根据0.1微米带测量刻度放大镜500倍以上分辨率的摄像机的数据来调整锥度头的跳动，来继续修正同心精度，最终得到轴芯和此轴芯上装载锥度头顶部的同心度精度；再然后通过上述测量第一油浮轴承座同心度精度的测量方法对第二油浮轴承座的进行同心度精确测量；最终：以第一油浮轴承座和第二油浮轴承座上锥度头的同心XY方向精度，来调试需要测量的设备上部件的平行精度。