[发明专利]一种基于聚碳酸酯模板法制备图形化钴纳米线阵列的方法在审

专利信息
申请号: 201711285681.0 申请日: 2017-12-07
公开(公告)号: CN108018587A 公开(公告)日: 2018-05-11
发明(设计)人: 邹强;苏奇 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: C25D3/12 分类号: C25D3/12;C25D5/02;B82Y40/00
代理公司: 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 代理人: 程毓英
地址: 300072*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明涉及一种基于聚碳酸酯模板法制备图形化钴纳米线阵列的方法,步骤如下:准备聚四氟乙烯基底、紫铜片和多孔聚碳酸酯模板;工作电极的制备;配制酸性电解液;多孔聚碳酸酯模板的孔洞润湿;钴纳米线及钴基底的制备;洗除光刻胶:利用丙酮洗除未曝光的光刻胶,之后用去离子水清洗图形化的多孔聚碳酸酯模板表面;洗除聚碳酸酯模板:利用二氯甲烷洗除聚碳酸酯模板,即可得到图形化的纳米线阵列。
搜索关键词: 一种 基于 聚碳酸酯 模板 法制 图形 纳米 阵列 方法
【主权项】:
1.一种基于聚碳酸酯模板法制备图形化钴纳米线阵列的方法,包括下列步骤:(1)准备紫铜片和多孔聚碳酸酯模板;(2)工作电极的制备:将适量的武德合金加热熔化后,在紫铜片上涂覆均匀,然后将多孔聚碳酸酯模板覆于武德合金上表面;利用环氧树脂胶涂覆紫铜片背面及侧面,保证钴离子只能在多孔聚碳酸酯模板孔洞中沉积;取一根导线,一端连接紫铜片背面,另一端连接电极夹,制得工作电极;(3)涂覆光刻胶:在多孔聚碳酸酯模板上表面涂覆适量光刻胶,将所述多孔聚碳酸酯模板置于匀胶机中,使其均匀涂覆光刻胶;(4)曝光与显影:利用紫外光透过掩膜版照射已经涂覆光刻胶的多孔聚碳酸酯模板,照射过的光刻胶发生光化学反应,性质发生了变化,显影时会和显影液发生化学反应并去除;而被光刻版挡住的部分,未发生任何变化,显影时不和显影液发生反应被保留,这样光刻版的图形通过显影就能将图形留在多孔聚碳酸酯模板上;(5)配制酸性电解液:电解液包括:CoSO4 7H2O与H3BO3,摩尔浓度范围分别为0.60-0.66M/L和0.62-0.68M/L,并将pH值调节到2.5-3.5;(6)多孔聚碳酸酯模板的孔洞润湿:将图形化的多孔聚碳酸酯模板置于电解液中,使所述电解液中的钴离子进入多孔聚碳酸酯模板孔洞之中;(7)钴纳米线及钴基底的制备:将铂片对电极和工作电极置于电解液中,两电极连接至电源,通过监测沉积电流的变化情况得知钴纳米线的沉积情况,当钴纳米线已经溢出多孔聚碳酸酯模板孔洞开始沉积时停止沉积;(8)洗除光刻胶:利用丙酮洗除未曝光的光刻胶,之后用去离子水清洗图形化的多孔聚碳酸酯模板表面。(9)洗除聚碳酸酯模板:利用二氯甲烷洗除聚碳酸酯模板,即可得到图形化的纳米线阵列。
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