[发明专利]一种硅棒切割方法有效
| 申请号： | 201711285670.2 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN108032451B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 熊震;王君林;李飞龙;朱军;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯光伏电力（洛阳）有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅棒切割方法，硅棒经过表面氧化处理后切片。该硅棒切割方法中，硅棒在切片前经过表面氧化处理，使得硅棒表面形成一层致密的氧化膜，氧化膜可以修复硅棒表面的缺陷，且氧化膜的硬度较低，能够对硅棒起到保护和缓冲的作用，起到钝化的效果，从而减小表面裂纹的产生和扩展，使得硅棒抗断裂强度提升，切片过程中，金刚线切割的作用力不足以使硅片的边缘产生崩缺、硅落等缺陷，减小制成损耗，降低了硅片崩缺的比例，提高加工的硅片的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硅棒切割方法，其特征在于，硅棒经过表面氧化处理后切片。
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