[发明专利]寻边器

摘要

本发明提供了一种寻边器，包含：底座、一端固定在底座上的支架、夹持部和传感器，夹持部包含：安装在支架的另一端的安装平台、两个滑动安装在安装平台上的半圆形的夹紧支架、多个分别转动安装在两个夹紧支架上的夹紧轮、安装在安装平台上且与两个加紧支架驱动连接用于驱动两个夹紧支架靠近和远离的夹紧驱动单元、安装在安装平台上用于驱动所有夹紧轮转动的转动驱动单元；其中，两个夹紧支架平行于安装平台且位于同一水平面，两个夹紧支架凹的一侧相对，组成一个圆形，夹紧驱动单元驱动两个夹紧支架靠近和远离时，驱动两个夹紧支架同时向相反的方向移动相同的距离，本发明的寻边器具有找原迅速、制造成本低的优点。

主权项

一种寻边器，其特征在于，包括：底座；支架，一端固定在所述底座上；夹持部，包含：安装在所述支架的另一端的安装平台、两个滑动安装在所述安装平台上的半圆形的夹紧支架、多个分别转动安装在两个所述夹紧支架上的夹紧轮、安装在所述安装平台上且与两个所述加紧支架驱动连接用于驱动两个所述夹紧支架靠近和远离的夹紧驱动单元、安装在所述安装平台上用于驱动所有所述夹紧轮转动的转动驱动单元；以及传感器，安装在所述安装平台上，用于晶圆片寻边，其中，两个所述夹紧支架平行于所述安装平台且位于同一水平面，两个所述夹紧支架凹的一侧相对，组成一个圆形，所述夹紧驱动单元驱动两个所述夹紧支架靠近和远离时，驱动两个所述夹紧支架同时向相反的方向移动相同的距离，所述夹紧驱动单元驱动两个所述夹紧支架相互靠近，所述夹紧轮将晶圆片夹紧，晶圆片的圆心位置为两个所述夹紧支架组成的圆的圆心的位置，所述转动驱动单元驱动所述夹紧轮转动，所述夹紧轮带动晶圆片转动，在晶圆片上的缺口经过所述传感器感时，所述传感器检测到缺口的位置。