[发明专利]辉光放电光谱法测定铝材表面氧化膜厚度的方法在审
| 申请号： | 201711245150.9 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN107966108A | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 高崇;黄瑞银;江钟宇;苏玉龙;刘贞山;赵丕植 | 申请（专利权）人： | 中铝瑞闽股份有限公司;中铝材料应用研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350015 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种辉光放电光谱法测定铝材表面氧化膜厚度的方法，其在设定辉光光谱仪的工作条件后，对带有氧化膜的铝合金试样进行由表及里的辉光放电光谱检测，获得由表层氧化膜到铝基材中元素分布的强度‑时间曲线，然后利用氧化膜与铝基材元素的较大差异，根据氧化膜内主要元素（如Al、O、S等）含量变化判断氧化膜厚度。本发明方法准确性高，操作安全，可以测定各种厚度以及各种表面状态的阳极氧化膜，应用广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 辉光 放电 光谱 测定 表面 氧化 厚度 方法 | ||
【主权项】：
一种辉光放电光谱法测定铝材表面氧化膜厚度的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）设定辉光光谱仪的工作条件；（2）对带有氧化膜的铝合金试样进行由表及里的辉光放电光谱检测，获得各元素分布的强度‑时间曲线；（3）解析元素分布的强度‑时间曲线，并通过各元素标准样品溅射速率获得相应的校正系数，拟合出准确的各元素含量‑深度分布曲线；（4）根据各元素含量‑深度分布曲线判断氧化膜的厚度。
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